Indication de l'état grâce aux LED pendant la fabrication des semi-conducteurs

Les tours d'éclairage de base TL30 permettent au personnel travaillant à proximité des machines de dépôt de plaquettes individuelles de se guider facilement

Le statut de FOUP (Front Opening Unified Pods) dans les machines de dépôt de plaquettes individuelles doit être contrôlé afin de faire progresser l'efficacité et le rendement. Les tours d'éclairage sont une solution courante à ce défi, car elles fournissent une indication facile et en temps réel de l'état des FOUP. Cependant, les membres du personnel qui travaillent quotidiennement aux côtés de ces FOUP sont en danger. Une exposition prolongée à un éclairage de tour trop intense peut provoquer une fatigue oculaire, qui peut rapidement conduire à la fatigue et, par conséquent, à une perte de productivité. Les éclairages de tour TL30 Basic de Banner répondent à ce défi avec une indication facile à lire et confortable pour l'œil. 

Vos Avantages

  • Les lampes de tour TL30 Basic permettent de gagner de l'espace, grâce à un corps cylindrique mince de 30 mm qui s'adapte confortablement aux zones où des lampes de tour plus grandes peuvent gêner les mouvements
  • Rentabilité accrue grâce à un boîtier robuste conforme aux normes IP65 et IK07 et à des éclairages LED pour garantir un fonctionnement à long terme sans entretien
  • Une lumière agréable pour les yeux dans les applications où le personnel peut travailler à proximité immédiate d'une lampe de tour pendant une période prolongée

  • A clear machine status indication can expedite fabrication processes

  • TL30 tower lights indicate the current stage of the deposition progress

  • Compact TL30 tower lights are completely self-contained devices: no controller is needed

Indication du statut : Intégrale, mais difficile

Dans le processus de fabrication d'un dispositif semi-conducteur, le dépôt n'est qu'une étape parmi d'autres. Entre ces étapes, des plaquettes de silicium sont placées dans des FOUP pour garantir qu'elles sont stockées dans un environnement contrôlé pour le transport. Plusieurs FOUP peuvent être chargés dans une seule machine de dépôt de plaquettes en même temps. Une fois que les plaquettes ont été traitées et stockées à nouveau dans le FOUP, ce FOUP peut être retiré et remplacé par un nouveau.  

Donner au personnel qui travaille dans la salle blanche une indication claire du statut de chaque FOUP améliore l'efficacité avec laquelle il peut travailler et augmente le rendement. 

Des tours lumineuses qui fonctionnent pour tout le monde

La fatigue oculaire causée par la proximité de tours lumineuses est un risque légitime avec ce type d'indication, et peut entraîner une fatigue du personnel, une augmentation des erreurs et une perte de productivité. Les tours d'éclairage TL30 Basic donnent la priorité à une indication d'état facile à voir, mais leur conception assure un équilibre du niveau de lumière afin qu'il soit confortable, et non fatigant, pour l'œil humain. Cet équilibre permet au personnel de travailler à proximité d'une ou de plusieurs tours d'éclairage pendant de longues périodes sans ressentir d'inconfort. 

Les couleurs correspondent aux étapes du processus

Installé au-dessus de chaque FOUP qui a été placé dans la machine de dépôt de plaquettes individuelles, le TL30 indique l'état du FOUP en s'allumant dans une couleur particulière qui correspond à cette étape du processus. Cette indication est une communication immédiate, en un coup d'œil, de l'état du FOUP. Lorsqu'une étape est terminée, le TL30 s'illumine en gris pour éviter toute fausse perception d'indication causée par la lumière ambiante. Une fois que le TL30 illumine son segment vert, le FOUP peut être retiré et un nouveau peut être mis dans la machine de dépôt de plaquettes.


 

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